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一步法硅片上生長和轉(zhuǎn)移石墨烯
 新加坡的科學家發(fā)現(xiàn)了一步法生長和轉(zhuǎn)移石墨烯到硅片和其它的硬質(zhì)基底
上。這項發(fā)現(xiàn)來自新加坡國立大學(NUS),由 Loh Kian Ping 教授主導,將迎
來石墨烯在高價值領域的應用。
這項突破,受到甲殼蟲和和樹蛙腿附著水下的葉子的啟發(fā),被認為是目前為
止實現(xiàn)石墨烯在硅片上生長和轉(zhuǎn)移的第一個已發(fā)布的技術這項技術使石墨烯應
用在光電產(chǎn)品成為可能,像光電調(diào)節(jié)器、晶體管、芯片傳感器和隧道結(jié)。這項發(fā)
現(xiàn)最早在Nature 上發(fā)布。
Loh 教授曾在一份聲明中表示:雖然柔性石墨烯有很多潛在的應用,但是目
前為止大部分半導體組件是在硬質(zhì)基底比如說硅和石英上運行的。
作為這項論文的第一作者 Gao Libo 博士同時也是NUS 理學院石墨烯研究中
心的一名研究員。他在涂覆硅襯底的銅催化層上生長了石墨烯,石墨烯生長好后,
銅被腐蝕掉,而石墨烯氣泡形成的毛細管道固定住了。這與甲殼蟲和樹蛙的退粘
附在水下的葉子上很像。毛細管道能夠幫助石墨烯覆在硅表面同時防止石墨烯在
催化劑銅箔腐蝕過程中發(fā)生分離。這樣石墨烯覆在了硅層上。為了促進毛細管道
的形成,Gao 博士采用將氣體注入硅片,這能幫助調(diào)整界面性能促進在液體滲透
過程中毛細管通道的形成,添加的表面活性劑能幫助消除轉(zhuǎn)移過程中褶皺的形成
這種“面對面”轉(zhuǎn)移技術被認為同樣適用于半導體批量生產(chǎn)線和在硅片上制
造大規(guī)模集成電路。
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