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高溫掃描隧道顯微鏡(HT-STM)

高溫掃描隧道顯微鏡(HT-STM)

高溫掃描隧道顯微鏡可以實現最高1300 K 樣品溫度下對樣品表面的原位掃描成像,高溫成像分辨率小于1 nm,室溫成像達到原子分辨。可廣泛應用在真空鍍膜、化學氣相沉積及催化反應研究等領域。

設備特點:
☆ 實現高溫條件下樣品表面的
原位成像,直接觀測反應過程,
最高溫度可達1300 K;
☆ 可在不退針的情況下對樣品
進行從室溫到1300K 連續掃描;
☆ 國際聯合設計、本土化總裝,
技術國際領先,同時方便滿足定
制需求、快速交貨和技術支持服
務。

技術參數:


可擴展系統及部件:
1.原位MBE-STM聯合系統
2.原位CVD-STM聯合系統
3.(超)高真空系統
4.原位MBE蒸發源
5.環硼氮烷蒸發源
6.CVD氣路
7.氬離子槍
8.空氣腿
9.低溫制冷部件

效果展示:
  
在1300 K 樣品溫度下,觀測到的氮化硼圖像(圖像尺寸為70 nm × 70 nm)
圖中周期性結構的周期為3.2 nm,起伏小于0.1 nm。


不同溫度下石墨烯在金屬表面的形成過程

jc@www.ee163.cn
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